Pumpen für Desy

Das Deutsche Elektronen-Synchroton (DESY) ist das größte deutsche Forschungszentrum für Beschleuniger, Photonen-Forschung und Teilchenphysik. Edwards baut dafür mobile, trockenlaufende Vakuumpumpstände.

Edwards ist mit rund 3.000 Mitarbeitern nach eigenen Angaben ein weltweit führendes Unternehmen für komplette Vakuum- und Abgas-Managementsysteme zur Herstellung von Halbleitern, Solarzellen und Flachbildschirmen. Das DESY-Team setzte sich mit Edwards wegen der Konzeption der mobilen, trockenlaufenden Pumpstände für die neuen Photonen-Strahlbereiche in Verbindung. Beim DESY sind bereits Scroll-Pumpen von Edwards im Einsatz. Aufgrund der guten Erfahrungen wurde der Typ XDS10 gewählt, der durch schnelles Abpumpen und Erreichen des Vorvakuums dazu beiträgt, die Hochvakuum-Bedingungen in den Photonen-Strahlbereiche und Experimentier-Stationen der Nutzer herzustellen.

Da die mobilen Pumpstände eingesetzt werden, wann immer ein trockenes und reines Vakuum benötigt wird, können sie auch Nutzern der Strahlbereiche zur Verfügung gestellt werden, um deren Experimentierkammern abzupumpen. Darüber hinaus bieten sie Optionen wie Lecksuche, Restgas-Analyse und Unterstützung ihrer Ausheiz-Systeme. Das neue Pumpsystem verwendet zwei Pumpen. Dabei verfügt die Vorpumpe über eine Umwegleitung zum schnellen Evakuieren der Kammer. „Bei der Vorpumpe handelt es sich um einen Trockenläufer, die Edwards XDS10-Scrollpumpe“, sagt Frank Wagner, Edwards Key Account Manager, Scientific Deutschland Nord. „Das war ideal für DESY’s Anforderungen, denn die Pumpe erzielt bei hohem Saugvermögen einen ausreichend niedrigen Druck, um das System schnell abzupumpen.“ Die XDS10 hat bis zu 10m³/h Saugvermögen und ein Endvakuum von 7x10-2 mbar.

Am Anfang des Pumpvorgangs arbeiten nur Vorpumpe und Ventil zwischen der Kammer und der Turbomolekularpumpe. Wenn auf beiden Seiten Hochvakuum erreicht ist, öffnet sich das Hauptventil, die UHV-Pumpe wird ein- und die Vorpumpe ausgeschaltet. Ein Puffer-Volumen ermöglicht es dann, die Vorpumpe wieder zuzuschalten. Das Puffer-Konzept erlaubt, die Betriebszeit der Vorpumpe auf unter 5 % der Pumpzeit zu reduzieren und deren Wartungsintervalle zu verlängern. W

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